ВАКУУМНЫЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

ВАКУУМНЫЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, совокупность ва­куумных методов обработки поверхности металлич., стеклянных, пластмассовых и др. деталей с использованием пучков ионов, потоков плазмы разл. плотности и энергии. Применяют для изменения хим. состава поверхностного слоя (ионное азотирование, ионно-имплантационное легирование, ион­ная цементация), удаления дефектов (очистка тлеющим разрядом, ионным пуч­ком), нанесения покрытий. Ионной им­плантацией и обработкой тлеющим раз­ рядом производят лопатки газотурбинных двигателей в УМПО, обработкой тлею­щим разрядом — концевую арматуру гиб­ких трубопроводов из нержавеющей ста­ лина пр­тии “Гидравлика”, свечи зажи­гания— в УАПО.