МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, область электроники, занимающаяся созданием электронных устройств в микроминиатюрном исполнении. Развитие М. во 2‑й пол. 20 в. стало возможным благодаря фундам. достижениям науки в области физики твёрдого тела, созданию теории квантовой электроники. Область применения М.: приборы для авиац. и космич. аппаратов, вычислит. устройств, бытовой техники и др.
С 70‑х гг. 20 в. в Башкортостане осваивается тонко- (вакуумное нанесение плёнок с послед. фотолитографич. обработкой) и толстоплёночная (нанесение через трафарет резистивных, диэл. и проводниковых паст на керамич. подложку с послед. спеканием в конвейерных печах) технологии изготовления интегральных схем (ИС).
В 1969 на Уфим. НПП “Молния" была организована лаб. тонкоплёночной технологии, созданы первые резистивные микросхемы и конструкция микроузла в целом (Г.С.Кулешов, А.Ф.Супицкий, В.Г.Яковлев). Под рук. А.Н.Дегтярёва разработаны и внедрены в серийное произ‑во тонкоплёночные микросхемы, используемые в блоках автоматики бортовой электроники, к‑рые впервые применены в электронной системе самолёта Як‑42 (В.П.Филиппов). В 1975 на базе лаб. создан производств. участок мощн. 5 тыс. микросхем в год. В 1977 разработан комплекс тонкоплёночных микросхем для системы управления двигателем самолёта МиГ‑29, комплект функциональных узлов на базе толстоплёночных керамич. плат и первая отеч. микроЭВМ “Молния‑Д” для самолётов Ан‑70, Ил‑114, МиГ‑29К, Ту‑334 и ракетной техники (А.В.Бирюков, Б.С.Дорфман, Супицкий и др.).
В 1978 в НИИ “Солитон" под рук. А.П.Асабина была организована лаб. микроэлектроники, освоены технол. процессы разработки и изготовления тонко- и толстоплёночных микросборок, использов. впервые в многоканальных системах передачи информации по волоконно-оптич. кабелю (А.Я.Зайдман); в 1984 впервые в стране созданы и внедрены в произ‑во пром. технология изготовления большеразмерных металлодиэл. подложек и на их основе многоуровневых толстоплёночных коммутац. плат для гибридных интегр. узлов радиоэлектронной аппаратуры (Б.С.Гроссман, С.А.Зайдман). НИИ “Солитон" – единств. пр‑тие в респ., где для проектирования и создания аппаратуры используется сочетание трёх технологий (тонко- и толстоплёночные и технология изготовления плат на металлодиэл. подложках). С 1990 ведётся работа по разработке и изготовлению больших ИС на базовых матричных кристаллах, используемых в выпускаемой ин‑том аппаратуре. Большой вклад в разработку изделий М. для аппаратуры связи внесли В.В.Дарагач, В.Н.Хомский и др.
В 1979 на Уфим. з‑де коммутац. аппаратуры начато освоение произ‑ва электронных АТС, в к‑рых применялись гибридные интегр. схемы (ГИС) на толстых плёнках. В Спец. конструкторско-технол. бюро “Меркурий" была организована лаб. микроэлектроники, в к‑рой решались проблемы изготовления микросхем на импортном оборуд. (А.И.Голенковский, К.В.Парфёнов) и перевода их на отеч. элементную базу (А.Г.Копанев, В.Ф.Лохматов, И.Н.Перов и др.); разработаны отеч. материалы (проводниковые, резистивные и др. пасты) для создания пассивных элементов толстоплёночных ГИС (Р.Р.Гареев, Ш.З.Измайлов и др.), методика лазерной подгонки резисторов и настройки ГИС. В 1981 изготовлены первые опытные образцы ГИС для электронных АТС, в 1982 — для радиоприёмников “Уфа" и “Меркурий" (в 1983 начато их серийное произ‑во на импортном оборудовании). В 1984 введён в строй цех по произ‑ву ГИС произв‑стью до 4 млн. штук в год (Н.А.Рябинин).
В 1985 в Баш. ПО “Прогресс" был организован участок М., преобразов. в 1987 в самостоятельное пр‑тие (см. “Магнетрон”), в к‑ром создана конструкция установки магнетронного напыления тонких плёнок в вакууме (В.П.Петраков); освоены новые технологии и серийное произ‑во ИС (Д.И.Баркдон, А.А.Ощепков, С.Н.Щуренко), увеличен выпуск продукции на базе тонкоплёночной технологии (телевизионные антенные усилители, микросборки для автоматизации управления нефт. качалками, предохранители для кроссового оборуд. АТС, изделия средств защиты речевой информации по телефонным линиям “Базальт").
В 80‑е гг. в УППО начато освоение микроэлектронных технологий для авиац. приборостроения; в 1982 в ОКБ “Орбита" создан сектор комплексной микроминиатюризации, в 1983 разработаны микросборки для бортовых цифровых вычислит. машин; в 1987 организован отдел М., в 1988—89 освоено произ‑во тонкоплёноч. микросборок, в т.ч. представляющих собой оконечный каскад мультиплексного канала связи бортовых комплексов самолёта Ан‑70 (С.А.Лавров, О.Е.Рассказов).
В БГУ освоена технология вакуумного напыления проводниковых и резистивных материалов (под рук. В.М.Ягодкина), созданы системы совместимых композиционных паст (Н.И.Абдрахманов, А.В.Васильев, Ф.Ч.Каримов).
С.А.Лавров, Т.А.Плетенёва
