ВАКУУМ ҠУЛАЙЛАМАҺЫ

ВАКУУМ ҠУЛАЙЛАМАҺЫ, машиналар эшләүҙә: баҫымы 0,1 Па алып 0,001 Па тиклем булған вакуумды файҙаланып, төрлө технологик процестарҙы башҡарыу өсөн тәғәйенләнгән. Тәғәйенләнеше б‑са ионлы имплантация, төрлө өрҙөрөп буяу төрҙәре, термик эшкәртеү, электрон нурланышлы иретеп йәбештереү һ.б. өсөн В.ҡ. бүләләр. В.ҡ. технологик процестар 2 стадияла башҡарыла: эшкәртеүсе матдәнең (пар йәки плазма) генерацияланыуы һәм уның эшкәртелеүсе йөҙ м-н үҙ‑ара тәьҫире. В.ҡ. төп өлөштәре: вакуум камераһы, газ бүлеү һәм һурҙырыу системалары, ярҙамсы ҡоролмалар һәм технологик ҡорамалдар, электр м‑н тәьмин итеү һәм блокировка системалары, парландырғыстар, ионлы һәм плазмалы тиҙләткестәр. Ҡулайламаларҙың айырым механизмдары һәм блоктары дөйөм принципта эшләнгән; вакуум камераларының, парландырғыстарҙың төҙөлөштәре, үлсәмдәре, параметрҙары м-н айырылалар. Оҙонлоғо 3,6—5 м, киңлеге 2—3,6 м, бейеклеге 2—2,5 м һәм вакуум камераларының диаметры 0,6—1,2 м, оҙонлоғо 0,8—3,0 м булған В.ҡ. киң таралған. 20 б. 70-се йй. аҙ. алып — ӨМЭПБ-та һәм “Гидравлика” пр-тиеһында МАП-1, ННВ6, 6-И1 (Булат), ВИТА, УРМ-3 тибындағы камиллаштырылған ҡулайламалар, 90-сы йй. алып ӨДАТУ-ла уйлап сығарылған В.ҡ. ҡулланыла. Шулай уҡ ҡара: Вакуумлы ионлы-плазмалы технологиялар.

Әҙәб.: Будилов В.В. Технология вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий. Уфа, 1993.

В.В.Будилов

Тәрж. Р.Ғ.Ғилманов