ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА
ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА в машиностроении, предназначена для проведения разл. технол. процессов с использованием вакуума при давл. от 0,1 до 0,001 Па. По назначению различают В.у. для ионной имплантации, разл. видов напыления, термич. обработки, электронно-лучевой сварки и др. В В.у. технол. процессы осуществляются в 2 стадии: генерация рабочего в‑ва (пар или плазма) и взаимодействие его с обрабатываемой поверхностью. Осн. узлы В.у.: вакуумная камера, газораспределит. и откачивающая системы, вспомогат. устройства и технол. оснастка, системы электропитания и блокировки, испарители, ионные и плазменные ускорители. Установки имеют общие принципы построения отд. узлов, блоков; отличаются размерами, параметрами, конструкциями вакуумных камер, испарителей. Наиб. распространены В.у. дл. 3,6—5 м, шир. 2—3,6 м, выс. 2—2,5 м с вакуумными камерами диам. 0,6—1,2 м, дл. 0,8—3,0 м. С кон. 70‑х гг. 20 в. в УМПО и на пр‑тии “Гидравлика” применяются усовершенствованные установки типов МАП‑1, ННВ6, 6‑И1 (Булат), ВИТА, УРМ‑3, с 90‑х гг. — В.у., разработанные в УГАТУ.
Лит.: Будилов В.В. Технология вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий. Уфа, 1993.
В.В.Будилов
