ВАКУУМНЫЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ВАКУУМНЫЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, совокупность вакуумных методов обработки поверхности деталей из разл. материалов (металл, стекло, пластмасса и др.) с использованием пучков ионов и потоков плазмы разл. плотности и энергии. Применяются для изменения хим. состава поверхностного слоя (ионное азотирование, ионно-имплантационное легирование, ионная цементация), удаления дефектов (очистка тлеющим разрядом, ионным пучком), нанесения покрытий.
В Башкортостане иссл. в области В.и.‑п.т. начаты в 90‑е гг. 20 в. в УГАТУ (В.В.Будилов, В.С.Мухин, А.М.Смыслов и др.). Ионная имплантация и обр. тлеющим разрядом применяются в УМПО при изготовлении лопаток газотурбинных двигателей, обр. тлеющим разрядом — на пр‑тии “Гидравлика” при произ-ве концевой арматуры гибких трубопроводов из нержавеющей сталии в УАПО при изготовлении свеч зажигания.
Лит.: Будилов В.В., Иванов В.Ю., Мухин В.С. Интегрированные вакуумные ионно-плазменные технологии обработки деталей газотурбинных двигателей: физические основы, моделирование и проектирование. 2‑е изд., перераб. Уфа, 2004; Будилов В.В., Мухин В.С., Шехтман С.Р. Нанотехнологии обработки поверхности деталей на основе вакуумных ионно-плазменных методов: физические основы и технические решения. М., 2008.
В.В.Будилов
